| 发明名称 |
Apparatus for the treatment of a solid body |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2256939(B) |
申请公布日期 |
1994.07.06 |
| 申请号 |
GB19910015179 |
申请日期 |
1991.07.12 |
| 申请人 |
* OPA |
发明人 |
EUGENE * ZORINA;VLADIMIR * IVANOV;PAVEL * KULIK;ALEXIS * LOGOSHIN;ALIM * TCHABANOV;GEORGE * PAVLOV;VECLESLAV * SHVETCHOV |
| 分类号 |
H05H1/34;B23K10/00;C23C16/513;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/36;H05H1/40;(IPC1-7):H05H7/04 |
主分类号 |
H05H1/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
