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发明名称 SUBSTRATE HOLDER AND SUBSTRATE WASHING JIG
摘要
申请公布号 JPH06184744(A) 申请公布日期 1994.07.05
申请号 JP19920357039 申请日期 1992.12.22
申请人 CANON INC;RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 FUJIMURA HIDEHIKO;OTANI MINORU;ISHIKURA ATSUMICHI;SAWAMURA MITSUHARU
分类号 C23C14/50;C23C16/458;G02B1/10;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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