发明名称 Dispositif à semiconducteurs à grille isolée et procédé de fabrication.
摘要 <P>Pour améliorer la résistance au déverrouillage d'un dispositif à semiconducteurs à grille isolée tout en maintenant la tension de seuil de grille à une valeur constante, un bord (T2) d'une ouverture destinée à l'introduction d'une impureté de type n pour la formation d'une région de source de type n+ (3), est fixé dans une position qui est en retrait d'une distance déterminée, vers une région de formation de canal (CH), par rapport à un bord (T1) d'une ouverture destinée à l'introduction d'ujne impureté de type p, pour la formation d'une région de semiconducteur de type p (2). La région de source de type n+ (3) est donc formée de façon à traverser des surfaces (2a à 2d) d'égale concentration en impureté de type p, en direction d'une partie de bord (ED) de la région de semiconducteur de type p (2). Il en résulte que dans la région de semiconducteur de type p, la concentration en impureté de type p est relativement faible dans la région de formation de canal (CH) et relativement élevée immédiatement au-dessous de la région de source de type n+ (3).</P>
申请公布号 FR2700064(A1) 申请公布日期 1994.07.01
申请号 FR19930015586 申请日期 1993.12.23
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 TAKEDA MITSUYOSHI;YAMAGUCHI HIROSHI;NISHIHARA HIDENORI;YANO MITSUHIRO;SOUNO HIDETOSHI;YOSHIDA EIJI
分类号 H01L21/331;H01L21/336;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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