发明名称 Verfahren zur Herstellung eines SrTiO¶3¶-YBa¶2¶Cu¶3¶O¶7¶-Schichtsystems und Schichtsystem aus SrTiO¶3¶ und YBa¶2¶Cu¶3¶O¶7¶
摘要
申请公布号 DE4136126(C2) 申请公布日期 1994.06.30
申请号 DE19914136126 申请日期 1991.11.02
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH, 52428 JUELICH 发明人 SOLTNER, HELMUT, 5176 INDEN;POPPE, ULRICH, DR., 5000 KOELN;URBAN, KNUT, PROF., 5170 JUELICH
分类号 C23C14/08;C30B23/02;H01L39/12;H01L39/24 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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