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发明名称 Verfahren zum Ätzen von Gräben.
摘要
申请公布号 DE3889709(D1) 申请公布日期 1994.06.30
申请号 DE19883889709 申请日期 1988.10.31
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA 发明人 MOTOYAMA, TAKUSHI, NAKAHARA-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211;ABE, NAOMICHI, SETAGAYA-KU TOKYO 158;MIHARA, SATORU, ASO-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 215
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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