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发明名称 Halbleiter-Grabenkondensator-Struktur.
摘要
申请公布号 DE3788499(T2) 申请公布日期 1994.06.30
申请号 DE19873788499T 申请日期 1987.08.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y. 发明人 KENNEY, DONALD MCALPINE, SHELBURNE VERMON 05482
分类号 H01L27/04;H01L21/334;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/94;(IPC1-7):H01L29/94 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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