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发明名称 Plasmareaktori pinnoitus- tai etsausprosessia varten
摘要
申请公布号 FI943184(A0) 申请公布日期 1994.07.01
申请号 FI19940003184 申请日期 1994.07.01
申请人 ALCATEL CIT 发明人 PEARSON, DAVID
分类号 C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J;H05H 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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