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申请公布号 JPH0650242(B2) 申请公布日期 1994.06.29
申请号 JP19870071013 申请日期 1987.03.25
申请人 KOGYO GIJUTSU INCHO;SEIKOO DENSHI KOGYO KK 发明人 MIZUTANI WATARU;PPONMA AKIHIKO;WATANABE KAZUTOSHI
分类号 G01B7/28;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q60/10;G05D3/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/28 主分类号 G01B7/28
代理机构 代理人
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