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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0650731(B2) 申请公布日期 1994.06.29
申请号 JP19850287074 申请日期 1985.12.20
申请人 HITACHI CHEMICAL CO LTD 发明人 ISHII MAKOTO;KUROSAWA TAKASHI;KIKUCHI MAKOTO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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