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发明名称 Molecular beam epitaxy apparatus.
摘要
申请公布号 EP0335267(B1) 申请公布日期 1994.06.29
申请号 EP19890105248 申请日期 1989.03.23
申请人 ROHM CO., LTD. 发明人 TANAKA, HARUO;MUSHIAGE, MASATO;ISHIDA, YUHJI
分类号 C23C14/56;C30B23/02;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):C23C14/56;C23C14/24 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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