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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06181317(A) 申请公布日期 1994.06.28
申请号 JP19920333967 申请日期 1992.12.15
申请人 ROHM CO LTD 发明人 NAKAMURA TOMOHITO
分类号 H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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