| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT TEST METHOD AND INTEGRATED CIRCUIT TEST APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06181247(A) |
申请公布日期 |
1994.06.28 |
| 申请号 |
JP19920334211 |
申请日期 |
1992.12.15 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
YOSHINO KENJI;HAMAGISHI KENJI |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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