| 发明名称 |
HIGH FREQUENCY SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06179968(A) |
申请公布日期 |
1994.06.28 |
| 申请号 |
JP19920352457 |
申请日期 |
1992.12.11 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
OMI KAZUAKI;ICHIKAWA TAKESHI |
| 分类号 |
C23C14/40;C23C14/44;C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/40 |
主分类号 |
C23C14/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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