发明名称 CHEMICAL PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06181194(A) 申请公布日期 1994.06.28
申请号 JP19920331744 申请日期 1992.12.11
申请人 NEC CORP 发明人 SEO YUJI
分类号 H01L21/304;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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