发明名称 PREPARATION OF SAMPLE FOR TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH06180277(A) 申请公布日期 1994.06.28
申请号 JP19920332760 申请日期 1992.12.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YAMASHITA HIROSHI
分类号 G01N1/32;G01N1/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/32 主分类号 G01N1/32
代理机构 代理人
主权项
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