| 发明名称 |
INTERCONNECTION STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06181264(A) |
申请公布日期 |
1994.06.28 |
| 申请号 |
JP19920332714 |
申请日期 |
1992.12.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YOSHIKAWA HARUHIKO;KATAOKA FUMIO;SHOJI FUSAJI;OBARA ISAO;TANAKA JUN |
| 分类号 |
H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90 |
主分类号 |
H01L21/312 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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