| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06181258(A) |
申请公布日期 |
1994.06.28 |
| 申请号 |
JP19920334636 |
申请日期 |
1992.12.15 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
UECHI MASAHITO |
| 分类号 |
G06F12/00;G06F17/50;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82;G06F15/60 |
主分类号 |
G06F12/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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