发明名称 SILANE COMPOUND AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH06179686(A) 申请公布日期 1994.06.28
申请号 JP19920353473 申请日期 1992.12.14
申请人 TONEN CORP 发明人 OKURA MASATOSHI;NAKAJIMA MASASHI;IMANISHI KUNIHIKO;UEKI SATOSHI
分类号 C07F7/18;(IPC1-7):C07F7/18 主分类号 C07F7/18
代理机构 代理人
主权项
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