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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06179966(A) 申请公布日期 1994.06.28
申请号 JP19920331822 申请日期 1992.12.11
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 TAZO TORAO;YAMADA HIFUMI;NEHASHI KIYOSHI
分类号 C23C14/32;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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