| 发明名称 |
PATTERN FORMING METHOD FOR SYNTHETIC RESIN THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06179958(A) |
申请公布日期 |
1994.06.28 |
| 申请号 |
JP19920332954 |
申请日期 |
1992.12.14 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD;ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
MATSUURA HISAO;KATSUBE ATSUSHI;IIJIMA MASAYUKI;TAKAHASHI YOSHIKAZU |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L23/29;H01L23/31;H05K3/14;(IPC1-7):C23C14/04 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
