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发明名称 PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH06177007(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920343540 申请日期 1992.12.01
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 HORIUCHI TOSHIYUKI
分类号 G02B5/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027;G03B27/32 主分类号 G02B5/00
代理机构 代理人
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