发明名称 SUPPORT FOR CIRCUIT BOARD FOR PHOTORESIST APPLICATION AND PHOTORESIST APPLICATION USING SAME
摘要
申请公布号 JPH06177028(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920329289 申请日期 1992.12.09
申请人 SHIROSHIKA DENSHI KOGYO KK 发明人 FUKUMI MICHIO
分类号 B05C11/08;B05C13/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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