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发明名称 INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06174645(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920325102 申请日期 1992.12.04
申请人 IWAKI ELECTRON CORP LTD 发明人 MINAGAWA TATSUYA;KOBAYASHI KOICHI;HOSHIKAWA KAZUMASA;CHIIRO KAZUO
分类号 B65G21/14;B65G21/20;B65G47/90;G01N21/84;H05K3/34;(IPC1-7):G01N21/84 主分类号 B65G21/14
代理机构 代理人
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