发明名称 FORMATION OF GATE ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH06177160(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920323363 申请日期 1992.12.02
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIDA TAKUKATSU;MATSUMURA TAKAO
分类号 H01L29/812;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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