| 发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06177143(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
| 申请号 |
JP19920326955 |
申请日期 |
1992.12.07 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
OKI YOSHI;KANAI AKIO;MITANI KIYOSHI;KATAYAMA MASAYASU |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/02;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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