发明名称 |
LENGTH MEASURING DEVICE FOR MICRO-COMPONENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06174429(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
申请号 |
JP19920330554 |
申请日期 |
1992.12.10 |
申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA ELECTRON ENG CORP |
发明人 |
SUZUKI TOSHIRO;SATO HIKARI |
分类号 |
B07C5/10;G01B11/02;(IPC1-7):G01B11/02 |
主分类号 |
B07C5/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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