发明名称 LENGTH MEASURING DEVICE FOR MICRO-COMPONENT
摘要
申请公布号 JPH06174429(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920330554 申请日期 1992.12.10
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA ELECTRON ENG CORP 发明人 SUZUKI TOSHIRO;SATO HIKARI
分类号 B07C5/10;G01B11/02;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 B07C5/10
代理机构 代理人
主权项
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