| 发明名称 |
DETECTING METHOD OF FOREIGN SUBSTANCE OF FILMED WAFER AND INSPECTION APPARATUS OF FOREIGN SUBSTANCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06174655(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
| 申请号 |
JP19920351735 |
申请日期 |
1992.12.08 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
IIZUKA SHIGEHARU |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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