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发明名称 PROFILE IRREGULARITY MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06174447(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920343599 申请日期 1992.12.01
申请人 NIKON CORP 发明人 GENMA TAKASHI
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/255;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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