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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06177262(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920330604 申请日期 1992.12.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKATSUKA TADAYOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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