| 发明名称 |
MANUFACTURE OF CVD ALUMINUM DOPED WITH SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06177061(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
| 申请号 |
JP19930128575 |
申请日期 |
1993.05.31 |
| 申请人 |
S G S THOMSON MICROELECTRON INC |
发明人 |
TSUU CHIYAN;FURANKU BURAIANTO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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