| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR ALIGNING ELECTRON BEAM OF SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06176721(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
| 申请号 |
JP19920212014 |
申请日期 |
1992.07.16 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KOMATSU BUNRO;MIYOSHI MOTOSUKE |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/04 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
