| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR TREATING SURFACE OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06177113(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
| 申请号 |
JP19920351792 |
申请日期 |
1992.12.07 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
HARIMA YOSHITADA;TANAKA IWAO;NAKAMURA TSUGIO;YOSHITANI MITSUAKI |
| 分类号 |
B05B15/04;B05D1/02;C03C15/00;C23F1/08;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
B05B15/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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