发明名称 METHOD FOR DISPLAYING SAMPLE IMAGE OF SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH06176731(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920323128 申请日期 1992.12.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIZUNO FUMIO;YAMADA SATORU;TODOKORO HIDEO;TERAKADO SADAO;KURODA KATSUHIRO;NINOMIYA KEN;KURE TOKUO
分类号 H01J37/22;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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