发明名称 |
METHOD FOR DISPLAYING SAMPLE IMAGE OF SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06176731(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
申请号 |
JP19920323128 |
申请日期 |
1992.12.02 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIZUNO FUMIO;YAMADA SATORU;TODOKORO HIDEO;TERAKADO SADAO;KURODA KATSUHIRO;NINOMIYA KEN;KURE TOKUO |
分类号 |
H01J37/22;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/22 |
主分类号 |
H01J37/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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