发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06177265(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920329130 申请日期 1992.12.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ARIMA HIDEKAZU
分类号 H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320;H01L29/784 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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