| 发明名称 |
POSITIONING DEVICE FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06177173(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
| 申请号 |
JP19920322938 |
申请日期 |
1992.12.02 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TOKUNAGA MINORU;NAGATOME RYUJI |
| 分类号 |
H01L21/50;H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/50 |
主分类号 |
H01L21/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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