| 发明名称 |
MEASURING DEVICE FOR FREE-CARRIER LIFE AND THE LIKE OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06177218(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
| 申请号 |
JP19920329158 |
申请日期 |
1992.12.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIMURA SHIGEJI;WATANABE KIKUO |
| 分类号 |
G01N21/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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