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发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND FABRICATING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR940005888(B1) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 KR19910003428 申请日期 1991.03.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. 发明人 ASHIGA, NATSUO;ARIMA, HIDEAKI;MODONAMI, KAORU;HACHISUGA, ATSUSHI;OKUDAIRA, TOMONORI
分类号 H01L27/10;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
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