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经营范围
发明名称
MANUFACTURING-RULE CHECK SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH06176994(A)
申请公布日期
1994.06.24
申请号
JP19930050432
申请日期
1993.03.11
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
OZAKI YUUICHIROU;FUKUDA ETSUO
分类号
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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