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发明名称 ION SOURCE ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH06176890(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920326765 申请日期 1992.12.07
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 NAKAMOTO ICHIRO
分类号 H05H1/10;H01J27/02;H05H1/54;(IPC1-7):H05H1/54 主分类号 H05H1/10
代理机构 代理人
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