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发明名称 ROBOT FOR INSPECTING IC
摘要
申请公布号 JPH06174792(A) 申请公布日期 1994.06.24
申请号 JP19920322061 申请日期 1992.12.01
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 FUJIMORI HIROAKI
分类号 B25J9/02;B25J18/00;G01R31/26;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 B25J9/02
代理机构 代理人
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