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发明名称 SUPPLY DEVICE USED IN A SEMICONDUCTOR ASSEMBLY APPARATUS
摘要
申请公布号 KR940005717(B1) 申请公布日期 1994.06.23
申请号 KR19900019924 申请日期 1990.12.05
申请人 SHINKAWA CO., LTD. 发明人 USHIKI, HIROSHI;ENDO, TAKASHI;MATSUNO, HIROYUKI
分类号 H01L21/50;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
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