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发明名称 ION PLAING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06173002(A) 申请公布日期 1994.06.21
申请号 JP19920073131 申请日期 1992.02.26
申请人 NKK CORP;CHUGAI RO CO LTD 发明人 SEKIGUCHI TAKESHI;UCHINO SHUZO;KAGECHIKA HIROSHI;KIBE HIROSHI
分类号 C23C14/32;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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