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发明名称 PRODUCTION OF METAL OXIDE VAPOR-DEPOSITED FILM
摘要
申请公布号 JPH06172966(A) 申请公布日期 1994.06.21
申请号 JP19920329277 申请日期 1992.12.09
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD 发明人 SEKIGUCHI MAMORU
分类号 C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;(IPC1-7):C23C14/02 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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