METHOD FOR FORMING THIN FILM AND DEVICE THEREFOR,申请号JP19920330270-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR FORMING THIN FILM AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号	JPH06172990(A)	申请公布日期	1994.06.21
申请号	JP19920330270	申请日期	1992.12.10
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	KITAGAWA MASATOSHI;SHIBUYA MUNEHIRO;KAMATA TAKESHI;KOMAKI KAZUKI;HIRAO TAKASHI
分类号	C23C14/34;C23C14/40;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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