| 发明名称 |
REACTIONAL FURNACE FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR-GRADE POLYCRYSTALLINE SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06172092(A) |
申请公布日期 |
1994.06.21 |
| 申请号 |
JP19920352214 |
申请日期 |
1992.12.10 |
| 申请人 |
KOUJIYUNDO SILICON KK |
发明人 |
ITO HIDEO;KITAGAWA TERUHISA;IGAKI KAZUTO |
| 分类号 |
C30B29/06;C01B33/02;C30B31/18;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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