| 发明名称 |
ATOMIC-ABSORPTION TYPE VAPOR DEPOSITION RATE SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06172977(A) |
申请公布日期 |
1994.06.21 |
| 申请号 |
JP19920135769 |
申请日期 |
1992.04.28 |
| 申请人 |
YASKAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
FUJII ETSUJI;HAYAKAWA HIROTOSHI;KAKO HISAYUKI |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/52;G01N21/31;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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