发明名称 SOLVENT FOR DEHYDRATION
摘要
申请公布号 JPH06170108(A) 申请公布日期 1994.06.21
申请号 JP19920324186 申请日期 1992.12.03
申请人 ASAHI CHEM IND CO LTD 发明人 YAMASHITA IZUMI;MURANAKA FUMIO
分类号 H01L21/304;B01D12/00;(IPC1-7):B01D12/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址