| 发明名称 |
DISPENSER WITH MULTI-CONTROL FUNCTION AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS SUING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06170302(A) |
申请公布日期 |
1994.06.21 |
| 申请号 |
JP19920323933 |
申请日期 |
1992.12.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
IRIE SOTOSHI |
| 分类号 |
B05C5/00;B05C11/00;H01L21/56;(IPC1-7):B05C5/00 |
主分类号 |
B05C5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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