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发明名称
CLEANING METHOD
摘要
申请公布号
JPH06173049(A)
申请公布日期
1994.06.21
申请号
JP19920076904
申请日期
1992.03.31
申请人
TOSHIBA CORP;TOSHIBA SILICONE CO LTD
发明人
KUMAGAI MASARU;SUZUKI MICHIYO;KAMURAGI MASAAKI;IMASHIRO YASUTAKA;FUKUOKA KENICHI;SAITO NOBUHIRO;SANTO SHIGEO
分类号
C23G5/032;(IPC1-7):C23G5/032
主分类号
C23G5/032
代理机构
代理人
主权项
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