发明名称 |
REACTIONAL FURNACE FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR-GRADE POLYCRYSTALLINE SILICON |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH06172093(A) |
申请公布日期 |
1994.06.21 |
申请号 |
JP19920352215 |
申请日期 |
1992.12.10 |
申请人 |
KOUJIYUNDO SILICON KK |
发明人 |
ITO HIDEO;KITAGAWA TERUHISA;IGAKI KAZUTO |
分类号 |
C30B29/06;C01B33/035;C30B31/18;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|